針對(duì)超高真空互聯(lián)應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行專業(yè)設(shè)計(jì)；
自動(dòng)化程度高：可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制樣品傳送；
位置重復(fù)性好：位置重復(fù)誤差小于0.2mm；
傳樣機(jī)械臂在腔體內(nèi)可360°旋轉(zhuǎn)；
整體耐高溫：工作溫度大于150℃；
圓形樣品傳樣腔
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