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晶圓分子束外延所使用的樣品為2-4英寸晶圓。為了保證成膜的均勻性,在生長過程中樣品可連續旋轉。加熱器采用內外層分別加熱和控溫,保證良好的均勻性。這種MBE主要用于對樣品尺寸有一定要求的,面向工業應用的生產和研發。

● 加熱器為內外環加熱,溫度一致性好

● 樣品連續旋轉,蒸鍍均勻

● 操作方便,可快速學會使用

● 可靠性好,能保證長時間穩定工作

● 配件、材料選擇考究保證極低的本底真空

△ 可定制功能:

● 腔體結構、傳樣機構,泵組、真空規及其品牌型號

● 樣品尺寸

● 樣品操作臺行程

蒸發源口徑、溫度、加熱方式和數量

● 快速進樣室進樣和存樣機構的樣品數量

● 可擴展反射式高能電子衍射儀、紅外測溫儀、膜厚儀、氣源等

● 程序控制功能

● 腔體可做無磁處理


晶圓分子束外延系統(Wafer MBE)

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