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通過程序方式控制MBE系統(tǒng)中的蒸發(fā)源和樣品溫度,shutter開關(guān);記錄真空、溫度等實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

● 可控制溫度、氣體流量、電機(jī),讀取溫度和真空計(jì)

● 支持實(shí)驗(yàn)配方的編輯、預(yù)覽、導(dǎo)入和導(dǎo)出

● 可對單獨(dú)蒸發(fā)源進(jìn)行控制,或?qū)ο到y(tǒng)所有蒸發(fā)源進(jìn)行控制

● 可針對不同蒸發(fā)源設(shè)定參數(shù)

● 數(shù)據(jù)庫管理實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),可導(dǎo)出為通用格式

● 自動(dòng)保存實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),防止斷電后數(shù)據(jù)的丟失



分子束外延生長程控系統(tǒng)(MBE Controller)

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