MBE技術(shù)是在超高真空條件下，用其組元的分子（或原子）束噴射到襯底上生長外延薄層的技術(shù)。

現(xiàn)代MBE生長系統(tǒng)的背景真空度可達 1.33×10-10Pa，分子束與分子束以及分子束與背景分子之間不發(fā)生碰撞。

MBE技術(shù)的關鍵

III,V族元素分別加熱到溫度Ti,Tj形成的束 引入到溫度為Ts的襯底上生長薄膜，要仔細 選擇Ts，使多余的V族元素從襯底表面蒸發(fā)以生長化學配比材料合適的生長溫度使吸附的原子有足夠的能量 遷移到合適的平衡位置進行外延生長

溫度太低：可能生長出多晶或非晶

溫度過高：會使吸附的原子再次蒸發(fā)而脫附

MBE設備

真空系統(tǒng)、生長系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)

生長系統(tǒng)：進樣室、預處理室（襯底存儲室）、生長室

監(jiān)控系統(tǒng)：

四極質(zhì)譜儀：真空度檢測，監(jiān)測殘余氣體和分子束流的成分

電離計：測量分子束流量

電子衍射儀：觀察晶體表面結(jié)構(gòu)以及生長表面光潔平整度

俄歇譜儀：檢測表面成分、化學計量比和表面沾污等